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第92章 56型接触式光刻机制成! (4 / 6)
高压汞灯瞬间点亮,炽白的光线经过复杂的光学系统,穿透掩模版,精准地投射在涂有光刻胶的硅片上。
设备内部传来冷却液循环的水流声和精密机械运转的细微蜂鸣。
预设的曝光时间在紧张而寂静的空气中一秒一秒地流逝。
所有人脸上都不免闪过紧张与期待。
饶是沈永健也一样,他对理论图纸有信心,但最终组装成的设备也没法一次保证能成,万一有个别零件不合格等,都会影响这台精密机器的运转。
“叮!”
终于!
计时器清脆的提示音打破了沉寂,曝光结束。
沈永健立刻上前,小心翼翼地取下硅片。
卓邵文迅速准备好显影液槽,当硅片浸入显影液,经过短暂的化学反应和冲洗后,被放在高倍显微镜下。
沈永健第一个凑近目镜,显微镜视野中,清晰地呈现出一组极其微小的,边缘锐利的线条图案。
正是掩模版上设计的晶体管电路图形!
运气不错!
哪怕是这个不太稳定成功率不高的光刻胶,这次竟也一次便成,将图案精确地转移到了硅片上!
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