第92章 56型接触式光刻机制成! (2 / 6) 首页

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第92章 56型接触式光刻机制成! (2 / 6)
        这台正式的第一代光刻机,核心零配件皆来源自产,不过部分零件依旧选用从苏方进口的,例如那投影透镜。

        国内倒不是没有能制造的工厂和实验室,只是效能上还是苏方的生产配件更佳。

        反正眼下双方关系不错,这类相关的零配件,对方也挺大方,自然是先用更好的零件。

        约莫四个小时后,天色渐暗。

        厂里除了收制车间有夜班工人外,大都已经下班,外头也再无任何杂音,显得有些寂寥。

        好在大家心头都是火热,沈永健这边工作已进入尾声。

        “沈工,操作台,光源系统和遮光板都装好了,您看看位置?”

        见沈永健动作终于停下,刘师傅的声音便已从身后响起。

        他负责的是工作量最大且要求严苛的机械部分。

        笨重的高压汞灯光源,复杂的冷却管路以及控制光路的精密遮光板机构。

        沈永健起身前去,身前这个“大家伙”已然有了光刻机的雏形。

        随着他将电镜模组与各光学镜头模组安装完毕,观察投射在模拟硅片上的光斑形状和均匀度,再反复调整遮光板和聚光镜的位置。

        “…再左移一点…好,停!就是这个位置,固定死!”

        在他果断下令后,刘师傅立刻用特制的工具将螺栓牢牢锁紧。

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