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第592章 美国人惹上这家人，真是倒了八辈子的血霉 (4 / 7)
        “水……”倪光南喃喃自语，瞳孔剧烈收缩，“在镜头和晶圆之间……加水？”

        “疯了！这简直是疯了！”旁边的老专家惊叫起来，“电子设备最怕水！而且水会产生气泡，会污染光刻胶，高速运动下水的张力怎么解决？这在工程学上是自杀！”

        “工程学的问题，只要肯砸钱，总能解决。”陈念站在一旁，淡淡地补了一刀，“但物理学的问题，砸钱也解决不了。”

        陈念从公文包里拿出一份文件，那是陈山根据后世记忆整理的《关于浸没式光刻系统的可行性猜想》。

        “爸说得对。”陈念把文件递给倪光南，“为什么非要死磕空气？”

        倪光南颤抖着手接过文件，只看了第一页的示意图，呼吸就变得急促起来。

        那是一个极其大胆、却又在理论上完美闭环的设计。

        利用水的折射率，将193纳米的光源“欺骗”成134纳米。这不仅仅是技术的突破，这是思维维度的降维打击！

        “快！快！”倪光南突然像个疯子一样大吼起来，把手里的图纸撕得粉碎，“把那台ASML的废机器抬过来！拆掉工件台！给我准备去离子水！我们要改装！”

        “倪工，这可是价值千万的设备……”

        “拆！出了事我负责！”倪光南一把推开阻拦的研究员。

        ……

        凌晨四点。

        实验室里一片狼藉。那台原本精密的ASML光刻机，此刻被改得面目全非。核心曝光区域被加上了一个简陋的、甚至是用玻璃胶密封的注水槽。

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