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第592章 美国人惹上这家人,真是倒了八辈子的血霉 (1 / 7)
一九九七年,十一月。上海,浦东。
秋雨连绵,打在“002所”灰色的外墙上,留下一道道深色的水痕。这栋不起眼的小楼,对外挂着“和记精密仪器维修中心”的牌子。
但如果有人能通过那是三道生物指纹锁和一道视网膜扫描门,就会发现里面的空气不仅干燥,而且充满了令人窒息的绝望。
地下二层,超净实验室。
“不行!还是不行!”
一声暴躁的怒吼打破了只有风机嗡鸣声的死寂。
一位头发花白的老专家狠狠地把手中的测试报告摔在桌子上。他是光学的泰斗,平日里温文尔雅,此刻却像是一头被困在笼子里的老狮子。
“193纳米波长的氟化氩激光,物理极限就是摆在那里的!”
老专家指着显微镜下的晶圆,手指都在颤抖,“无论我们怎么调整透镜的数值孔径(NA),无论我们怎么优化光刻胶,到了130纳米这个节点,光线就像是散了架的面条,根本刻不出清晰的电路!”
这就是“衍射极限”。
它是物理学设下的一道叹息之墙。
倪光南坐在一堆废弃的图纸中间,双眼布满血丝。
他手里紧紧攥着那块从ASML二手机器上拆下来的透镜组。
“老王,再试一次……”倪光南的声音沙哑,透着一股不肯认输的倔强。
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